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敏芯微MEMS壓力傳感器基于美國(guó)專利發(fā)明SENSA工藝的芯片設(shè)計(jì),相比于傳統(tǒng)工藝傳感器,具有體積小、重量輕、一致性好、穩(wěn)定可靠、成本低等優(yōu)點(diǎn),此項(xiàng)技術(shù)代表了全球微硅傳感器MEMS制成工藝的技術(shù)潮流與前沿水準(zhǔn)。迄今為止,只有德國(guó)、意大利與美國(guó)的少數(shù)知名半導(dǎo)體企業(yè)掌握了類似技術(shù)。該項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)在中國(guó)大陸與美國(guó)申請(qǐng)了專利,并且成功獲得了授權(quán)。
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目前MEMS慣性傳感器主要為三軸加速度傳感器,MEMS加速度計(jì)目前已成為智能手機(jī)和平板電腦等消費(fèi)電子產(chǎn)品的標(biāo)配器件,幫助手機(jī)在翻轉(zhuǎn)屏幕和電子游戲時(shí)進(jìn)行姿勢(shì)識(shí)別,另外在行車記錄儀、可穿戴設(shè)備上也有著廣泛應(yīng)用。敏芯微公司采用晶圓級(jí)芯片尺寸封裝技術(shù)生產(chǎn)的加速度傳感器產(chǎn)品尺寸能夠縮小到傳統(tǒng)產(chǎn)品尺寸的四分之一,有利于消費(fèi)類產(chǎn)品對(duì)尺寸小型化的需求。
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MEMS麥克風(fēng)是為需要小尺寸、高音質(zhì)、高可靠性和高經(jīng)濟(jì)效益的音頻應(yīng)用而設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)駐極體電容式麥克風(fēng)(ECM)相比,具有高可靠性,高穩(wěn)定性,高一致性,低不良率和低返修率等優(yōu)點(diǎn),隨著音頻降噪應(yīng)用越來越廣泛,及MEMS麥克風(fēng)價(jià)格的進(jìn)一步下降,MEMS麥克風(fēng)的接受度越來越高。敏芯微電子是全球?yàn)閿?shù)不多掌握硅麥克風(fēng)的MEMS和ASIC晶圓技術(shù)并批量生產(chǎn)的廠家,已經(jīng)成功完成MEMS晶圓廠、封裝廠及測(cè)試和編帶的本土產(chǎn)業(yè)鏈整合,且被多家著名的手機(jī)品牌廠家廣泛采用并大批量穩(wěn)定供貨。
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